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高速先生成员--王辉东
芯片作为国之重器,不仅是现代科技发展的核心引擎,更是国家战略安全和经济自主的重要基石。随着 5G、AI 芯片测试频率突破 112Gbps,ATE 的 PCB 板面临着前所未有的技术挑战,其加工过程堪称 “在毫厘之间雕琢极致”,每一步都彰显着工匠精神的严谨与执着。
在芯片产业的精密链条中,ATE(自动测试设备)的 PCB 板是隐藏的 “神经中枢”,它承载着芯片测试的核心使命,其性能直接决定着芯片的命运。
精度是 ATE 的 PCB 板加工的第一道 “生死线”。
接下来让我们一起走进一博珠海PCB工厂,看一看ATE测试板的有哪些难点,一博科技的工程师们怎么在方寸之间,绘出传奇。
名词解释:
ATE,全称Automated Test Equipment,是晶圆和芯片封装之后,进行功能和性能自动化测试的设备。ATE设备可以进行芯片的参数测试、功能测试、性能测试、故障检测、可靠性测试等,在半导体的制造过程中扮演着至关重要的角色。
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ATE主要测试目的是什么?
功能测试
测试芯片的参数、指标、功能,就像十月怀胎,生下的宝贝是骡子是马,拉出来溜溜。
性能测试
由于芯片在生产制造过程中,有无数可能的引入缺陷的步骤,即使是同一批晶圆和封装成品,芯片也各有好坏,所以需要进行筛选. 所以需要进行筛选,就像是鸡蛋⾥挑石头,把“石头”芯片丢掉。
可靠性测试
芯片通过了功能与性能测试,得到了好的芯片,风霜雨雪,高温或潮湿湿,静电等对芯片的影响。芯片能用⼀个月、一年还是十年等等,这些都要通过可靠性测试进行评估。
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下图为芯片的生产过程及需要测试的具体项目。做⼀款芯片最基本的环节是芯片设计->流片->封装->测试,测试是芯片生产中最重要的一环。
芯片常用的测试方式:
板级测试、晶圆CP测试、封装后成品FT测试、系统级SLT测试、可靠性测试等
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不同的测试方法需要不同的测试板
板级测试(如EVB开发板)
主要应用于功能测试,使用PCB板+芯片搭建⼀个“模拟”的芯片⼯作环境,把芯片的接⼝都引出,检测芯⽚的功能,或者在各种严苛环境下看芯片能否正常⼯作。EVB板是一种专门设计用于方便使用者评估、验证和开发集成电路或系统的板卡。为工程师提供了一个实验平台,用于测试芯片功能、性能参数以及软硬件的互操作性。
探针卡(Probe Card):
探针卡用于测试未切割和未封装的半导体器件,通过对晶圆上的每个芯片进行电气测试,筛选出参数在要求范围内的器件进行封装。常应用于功能测试与性能测试中,了解芯片功能是否正常,以及筛掉芯片晶圆中的故障芯片。自动测试设备【ATE】+探针台【Prober】+仪器仪表,需要制作的硬件是探针卡【Probe Card】。
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负载板(Load Board)
在Final Test测试设备上面需要用到负载板,负载板用于在器件封装后对器件进行功能或性能测试,筛选出封装后的不良器件。对于有高速接口的IC来讲,对应的负载板通常会有严格的阻抗要求。⾃动测试设备【ATE】+机械臂【Handler】+仪器仪表,需要制作的硬件是测试板【Loadboard】+测试插座【Socket】等。
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老化测试板(Burn-in Board,简称BIB)
老化板(BIB)用于封装后芯片的老化测试,如热循环或加速开关循环,以暴露器件的早期失效故障。老化板的PCB材料必须能够承受长时间和反复的高温环境暴露,具有极高的可靠性。
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转接板(interposer):
Interposer是将Probe PCB 的讯号布线透过Interposer(载板)中介层的转换让Probe Head的探针可接收到讯号,且也可将讯号顺利传送至测试机台进行判读.
系统级测试(SLT)
是模拟芯片在真实的使用环境中运行,常应用于功能测试、性能测试和可靠性测试中,常常作为成品FT测试的补充而存在,顾名思义就是在⼀个系统环境下进行测试,就是把芯片放到它正常⼯作的环境中运行功能来检测其好坏,缺点是只能覆盖⼀部分的功能,覆盖率较低所以⼀般是FT的补充⼿段。
需要应用的设备主要是:机械臂【Handler】,需要制作的硬件是系统板【System Board】+测试插座【Socket】。
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从上图可以看出,prober card和interposer为CP端测试,也就是晶圆端的测试。CP【Chip Probing】顾名思义就是用探针【Probe】来扎Wafer上的芯片,把各类信号输⼊进芯片,把芯⽚输出响应抓取并进行比较和计算,挑选出最优的芯片。
Load board 和BIB板为芯片封装后FT端的测试。封装后成品FT测试,常应⽤与功能测试、性能测试和可靠性测试中,检查芯⽚功能是否正常,以及封装过程中是否有缺陷产⽣,并且帮助在可靠性测试中用来检测经过“⽕雪雷电”之后的芯片是不是还能⼯作。
探针卡在CP测试中用于连接测试机和Die上的Pad,通常作为Loadboard的物理接口,在某些情况下ProbeCard通过插座或者其它接口电路附加 到Loadboard上。
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应用:晶元切割前,透过pc可以测试晶圆品质,避免不良产品产生封装成本。晶圆检测是指在晶圆出厂后进行封装前,通过探针台和测试系统配合使用,对晶圆上的芯片进行功能和性能的测试。成品测试是指芯片完成封装后,通过分选机和测试系统配合使用,对芯片进行功能和电参数性能测试,保证出厂的每颗芯片的功能和性能指标能够达到设计规范要求。
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本期提问
关于 ATE 的介绍,我目前的理解大概是这些~肯定还有很多没说到的细节,大家如果有新认识或补充,欢迎一起聊聊呀!
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