先进制程进入了纳米级的拆楼大赛,高端光刻胶就跟“燃料”一样不可或缺,JSR为了保命,赌上了全部家底。
最近半导体圈子又传来一条重磅消息。 日本光刻胶巨头JSR,直接杀到了台积电的家门口,打算在台湾设立首座半导体材料生产基地,最快2028年就能投产。 JSR这次不是简单建个仓库,它要和台积电联手开发面向EUV光刻的金属氧化物光刻胶,从研发阶段就搞起了深度绑定。 这么大动干戈,甚至把总资产都压了上去。 JSR和它的日本同行们,这是坐不住了。
01 为什么说JSR坐不住了? 先看看JSR在全球光刻胶市场的地位。 目前JSR以19%的市占率位居全球第二,东京应化和信越化学分别是第一名和第三名,这三家日企加起来控制了全球光刻胶大约80%的份额,而在最高端的EUV市场,日本企业垄断率更是超过96%。 按理说,手握尖端技术的JSR应该稳坐沙场才对。 但问题出在它自己身上。 JSR的竞争对手——东京应化和信越化学,老早就在台湾建好了工厂。 这两家的工程师天天跟台积电的开发团队泡在一起,样品当天送达,反馈当天就能拿到。 而JSR呢?还得从日本、美国、比利时的工厂给台积电寄样品。一个来回就是几周时间。 几周,对先进制程研发意味着什么? 台积电2022年量产3纳米,2025年刚推进2纳米,2027年又要瞄准1.4纳米。 每代制程窗口就两三年,你一个材料供应商迭代速度跟不上,等到验证通过,下一代制程的门票早就被别人抢走了。 之前JSR的人坦言,每次送样品要等好几周,严重拖慢了验证进度。 现在厂子要建到家门口了,响应速度从“按月算”变成“按天算”。 JSR这一步走得并不早,而是确实不能再等了。 02 不只是送货快,更是贴身服务 有人可能会说,光刻胶不就是个化学材料吗,至于为了送样品专门建个厂? 这中间的门道深着呢。 在先进工艺节点上,光刻胶不是普通耗材,它得像高定西装一样,跟曝光设备和蚀刻工艺精密匹配。 说到底,ASML的光刻机再厉害,台积电的工艺再牛,没有适配的光刻胶,图案根本转印不到晶圆上,全是白扯。 更麻烦的是,同一个光刻胶在不同型号的EUV扫描仪上表现可能完全不同,台积电产线上混用了不同世代的设备,每种的照明模式和剂量控制都有细微差别。 JSR这次建厂,就是要把工程师直接塞进台积电的研发中心。 台积电的工程师一旦发现良率异常,JSR的人马上就能过去一起排查,是配方问题、工艺参数问题还是设备状态问题,一次搞定。 否则,等JSR的工程师办完签证飞去台湾,竞争对手的产品可能已经改完第三个版本了。 03 日本三巨头全部集结完毕,还有什么目的? 这一局,JSR落子不算早,但好在赶在了终局之前。 随着JSR的加入,日本光刻胶前三强——东京应化、JSR、信越化学,已经在台湾全部完成了布局。 三家合计把持着全球八成以上的光刻胶份额,都押宝在台积电这条船上。 再深挖一步。 JSR这次不仅要建厂,还要推出适配EUV工艺的金属氧化物光刻胶,就是冲着2nm及以下制程去的。 而且在来台湾之前,JSR已经在韩国建了一家同样的工厂,专门给三星电子和SK海力士供应高端光刻胶。 一边围住台积电,另一边锁死三星,JSR的算盘是两颗最先进的棋子都不放过。 04 巨大的危机感:中国对手真的来了 真正让日本厂商睡不着觉的,不是送货效率,而是身后正飞速追赶的中国企业。 JSR电子材料事业部总经理木村彻说了实话:“中国企业虽然构成威胁,但追上我们的技术还需要一段时间”。 请注意他的措辞——“一段时间”,而不是“永远追不上”。 当前中国光刻胶的国产化率整体依然很低,KrF也就3%左右,ArF不到1%,EUV几乎为零。 但南大光电、彤程新材、上海新阳、安集科技等国产厂商正在加速追赶。 南大光电已建成50吨/年的ArF光刻胶产能,上海新阳产能达到3600吨/年。在宏观政策和技术攻关的双重推动下,国产化速度正在加快。 JSR选择投建台湾工厂,本质上是在利用自身在技术上的存量优势,提前进行卡位。 中国市场一旦在技术上取得突破,必然会在大规模量产和成本控制方面展现出强大的竞争优势。到那时候,战局将彻底改写。 所以JSR这一步棋,赌的就是先进制程对高端光刻胶的依赖越来越深,趁中国对手还没形成规模化冲击之前,先确保自己能卡住最核心的位置。 05 时间表选在2028年,这背后在赌什么? JSR把投产目标设定在2028年,这个时间点不是随便挑的。 台积电2nm已经于2025年第四季正式量产,产能被各大客户预订到了2028年。 而且A14(1.4纳米)制程预计2028年也要量产。 从2026年到2028年,台积电2nm工艺的产能将以每年70%的速度增长,将有5座新工厂开始量产。 2028年正好是台积电最大一波先进工艺放量的时间点。 JSR在这时候把工厂建好,恰好能赶上客户对光刻胶需求最旺的时期。 所以从根儿上讲,JSR押的不是自己在光刻胶上的技术优势,而是: 先进制程对高端光刻胶的依赖性不会减弱 台积电不会被轻易绕开 别人的追赶没那么快,自己还有窗口期
这件事对国产替代有什么启示? JSR紧急建厂,日本前三强在台湾集结完毕,本身就说明了一件事: 中国厂商的追赶,已经从“会不会”变成了“快不快”。 面对差距我们不能自大,但也不要妄自菲薄。 光刻胶不同于光刻机,不需要动辄数万零部件、几十亿欧元的庞然大物。 它的核心在于配方、纯度和工艺积累。 这恰恰是中国制造业最擅长攻坚克难的方向。 南大光电这类企业能批量生产出ArF级别的光刻胶,就已经证明了从0到1的可能性。 从1到N只是时间和资金的问题。 JSR之所以慌不择路地建厂、结盟,就是因为它看懂了这盘棋。 留给日本光刻胶企业的时间还能有多少? 国产替代的赛道上,你觉得谁能成为第一个真正撼动日本三巨头地位的中国企业?是南大光电还是上海新阳? 评论区聊聊你的看法,我邀请大家一起参与这场硬核的辩论!
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