SJ6000激光干涉仪测量垂直度的应用 [复制链接]

szzhongtu5 · 发表于 2017-2-6 17:43:14

1.1.垂直度测量

1.1.1. 垂直度测量构建

SJ6000激光干涉仪进行垂直度的测量是直线度测量在二维方向上的延伸，进行垂直度测量就是在同一基准上对两个标称正交轴分别进行直线度的测量。然后对两个轴的直线度进行比较，得出两个轴的垂直度。

共同的参考基准通常指的是两次测量时反射镜的光学准直轴，在两次测量过程中既不移动、也不调整，光学直角尺用于至少一次测量中，允许调整激光束与直线度的准直，而不动直线度反射镜。

垂直度误差 = 棱镜误差 - （倾斜度 1 + 倾斜度 2）

图31-垂直图测量构建

1.1.2. 垂直度测量应用

1.1.2.1. 机器轴垂直度误差测量(数控机床、坐标测量机等)

垂直度测量通过比较直线度值从而确定两个标称正交坐标轴的垂直度。垂直度误差可能是导轨磨损、机器地基差或双驱动机器上的两原点传感器未准直造成的。垂直度误差将对机器的定位精度及插补能力产生直接影响。

一般情况下对于超过1.5米长的机器轴，使用激光干涉仪这样的光学方法是唯一的选择，因为传统的实物基准，如直角尺(金属或大理石等) 的长度一般局限于1米的范围内。

1.1.2.2. X,Y轴垂直度对准

X,Y工作台和水平面垂直度测量：不管是什么类型的XY平台，包括龙门型或者混合型或者其他类型的XY平台，无论是大型或者小型平台，重要的是有一个共同的参考基准，如图31所示的直线度反射镜，测量过程中直线度反射始终镜保持不动。

图32-机床垂直度测量

1.1.2.3. 带Z轴的垂直度测量

对于涉及带Z轴的垂直度测量，需要额外的增加直线度的附件，主要包括一个大角锥反射镜、一个垂直转向镜、一个直线度底座。

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图33-直线度附件-大角锥反射镜、垂直转向镜、直线度底座

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图 34-机床垂直度测量

szzhongtu5 · 发表于 2017-2-6 17:54:38

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第三张图片图（图33）

szzhongtu5 · 发表于 2017-2-6 17:59:16

第四章图片（图34）